纳米光电子器件的最新进展及发展趋势
发布者：shxinhuileather.com 发布时间：2020-05-07
一、前言
当前，高速发展的信息工业对集成电路器件集成度的要求越来越高，这促使了人们不断探索能够突破器件尺寸极限的途径。随着对亚微米、深亚微米和微电子机械系统 (MEMS)的深入研究，纳米电子学和纳米光电子学应运而生，纳米量子器件也随之产生。纳米量子器件可简单地分为纳米电子器件和纳米光电子器件。纳米电子 器件包括共振隧穿器件(RTD)、量子点(QD)器件和单电子器件(单电子晶体管和单电子存储器)等；纳米光电子器件则主要包括基于应变自组装的纳米激光 器(如量子点、量子线、量子阱激光器)、量子点红外光电探侧器、纳米级硅化铂薄膜肖特基势垒红外光电探测器等[1、2]。
二、纳米光电子学
光电子技术正向光电子集成和纳米光电子集成方向发展，其与纳米电子技术相结合，便产生了纳米光电子技术。而光学、光电子学、纳米光学与纳米电子学相结合，则 产生了一门崭新的学科—纳米光电子学。纳米光电子学是研究纳米结构中电子与光子的相互作用及其器件的一门高技术学科，它是在纳米半导体材料的基础上发展起 来的，代表了纳米电子学今后的发展方向，是纳米光电子器件的基础。并且，它还将成为纳米光通信技术发展的基础。
纳米电子学的遵循的发展过程是电子学→纳米技术→纳米光电子学→纳米电子技术→纳米电子工程，而纳米光电子学的发展模式则是光学→光电子学→纳米光学→纳米电子学→纳米光电子学→纳米光电子技术→纳米光电子工程。
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